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三氯氫硅中痕量磷檢測分析氣相色譜儀

三氯氫硅中痕量磷檢測分析氣相色譜儀

簡要描述:三氯氫硅中雜質磷的分析,傳統的方法為將雜質磷轉變成磷鉬雜多酸,再還原成磷鉬藍進行比色測定。在此基礎上后來有改進,諸如經苯肟酮或硫氰化銨比色測定鉬,或利用化學光譜法測出鉬量進而間接換算出磷含量;加大取樣量等。雖然在靈敏度上有一定提高,但都要經過使磷形成磷鉬雜多酸這一過程,滕州瑞能分析儀器有限公司 為了提高三氯氫硅中雜質磷分析靈敏度和速度,相關科研人員為此做了大量工作,并取得了一定的成績。

產品型號: GC3900

所屬分類:行業專用分析氣相色譜儀

更新時間:2020-06-29

訪問次數:2612

詳細說明:

品牌瑞能儀器儀器種類實驗室
產地類別國產價格區間5萬-10萬
適用行業藥物分析專用應用領域醫療衛生,化工,石油,能源

山東瑞能儀器有限公司 
(測定三氯氫硅中痕量磷儀器-GC3900)
 一、 前言
 半導體硅材料中磷含量的高低,直接影響器件的電性能。隨著硅材料研究及生產的不斷提高,對于原材料三氯氫硅中磷的測試靈敏度、速度、準確度提出高要求。
 三氯氫硅中雜質磷的分析,傳統的方法為將雜質磷轉變成磷鉬雜多酸,再還原成磷鉬藍進行比色測定。在此基礎上后來有改進,諸如經苯肟酮或硫氰化銨比色測定鉬,或利用化學光譜法測出鉬量進而間接換算出磷含量;取樣量等。雖然在靈敏度上有提高,但都要經過使磷形成磷鉬雜多酸這一過程。為要形成穩定的絡合物來分離基本和消除雜質干擾,化學分離手續相當繁雜,分析時間長,而且,測定靈敏度也不能滿足生產上的要求。
 滕州瑞能分析儀器有限公司 為了提高三氯氫硅中雜質磷分析靈敏度和速度,相關科研人員為此做了大量工作,并取得了成績。例如,有專家采用氣相色譜法測定了三氯氫硅中以PCL3與POCL3形式存在的磷含量。然而,三氯氫硅中雜質磷還可能以其他形式存在(例如,PCL5、PSCL3),因此,欲采用氣相色譜法測定總磷含量,首先樣品中以各種形式存在的磷從分離柱中流出,這無疑是一項很艱巨的工作,至今尚未見到報道。又例如,有專家采用“ICP—MS”法測定三氯氫硅中痕量雜質磷,測試方法雖然簡捷,遺憾的是,測定靈敏度下限僅為0.3PPb,不能滿足多晶硅生產工藝對三氯氫硅中雜質磷的分析要求(工藝要求三氯氫硅中雜質磷含量應小于0.1PPb)。
 
 二、 滕州瑞能分析儀器有限公司研制出測定三氯氫硅中痕量磷儀器“高溫氫還原—火焰光度氣相色譜儀”。
 針對上述現狀,與大量的切合實戰分析,研制出測定三氯氫硅中痕量磷儀器“高溫氫還原—火焰光度氣相色譜儀”。進幾年已在國內硅行業多個生產廠家得到應用,與價格昂貴的“ICP-MS”法比較有廉價實用,快速測定,痕量(≤0.06PPb)分析,耗材低等特性。對于快速反應指導三氯氫硅生產工藝,加提純硅產品,為社會提供優質*的單晶硅產品,是我們瑞能公司推出此套分析儀器的宗旨,也是您可信賴的合作伙伴。

 三、 GC3900儀器的特點和指標
 1、 所測三氯氫硅中雜質磷含量為總磷含量;
 2、 三氯氫硅中雜質磷含量測定下限為0.06PPb;
 3、 測定手續簡便用注射針筒向儀器注入三氯氫硅即可;
 4、 測定周期短,自注入三氯氫硅到測出磷化氫峰高(或面積)需時20分鐘;
 5、 儀器結構簡潔、直觀,便于使用和維修。
本廠還銷售各種色譜儀配件,歡迎選購使用或來圖定制?;蛟诎⒗锇桶椭苯酉聠?。



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